山东省陶瓷协会
淄博市陶瓷琉璃产业链推进办公室
淄博市传统产业发展中心
山东领瓷展览有限公司
1月9日,珂玛科技在投资者交流活动中系统披露了可转债进展、产能建设、产品性能及外延并购四大关切。
公司表示,可转债申请已获深交所受理并正处审核阶段,同步完成苏州高新区项目用地购置;募投将重点新建静电卡盘产线并进一步扩大陶瓷加热器产能,以满足半导体设备关键零部件国产替代需求。2025年内,公司先把原先分散于各租赁场地的陶瓷加热器设备整体迁入IPO募投的先进材料生产基地,并配套建成洁净车间,显著提升交付保障能力。
在性能对比方面,珂玛科技自2023年四季度起已实现陶瓷加热器批量出货,产品用于晶圆厂薄膜沉积环节,关键指标已满足主流客户制程要求。公司透露,将持续优化材料配方与工艺,开发更耐腐蚀、耐高温、等离子冲刷寿命更长的迭代型号,以缩小与国际龙头在极致工艺窗口和长期可靠性上的差距。
针对静电卡盘产业化进度落后于陶瓷加热器的疑问,公司解释称,两者研发起点不同:陶瓷加热器自2016年承担国家02专项至今积累九年,而静电卡盘项目2020年才启动,仅五年多时间;加之材料体系由氮化铝转为氧化铝,工艺流程差异大,导致验证周期更长。
目前,12英寸ICP/CCP刻蚀机用Monopolar静电卡盘已通过设备厂验证并小批量生产,多区加热版本亦交付客户端测试。珂玛科技计划借助可转债资金建设专业产线,复制陶瓷加热器的全流程技术闭环,快速提升静电卡盘良率与性能指标。
关于外延扩张,公司明确将并购作为长期成长路径之一。2025年7月完成的苏州铠欣73%股权收购是首单案例,其CVD碳化硅涂层及块体陶瓷技术与珂玛现有高纯氧化铝、氮化铝结构陶瓷形成互补,正同步推进销售渠道、供应链及信息系统整合。
未来并购将聚焦三大方向:
1)围绕半导体设备零部件方向,涉及已经布局陶瓷材料,功能-结构一体模块化陶瓷产品,特殊工艺处理等,与公司现有产品在研发或技术或目标市场等形成互补;涉及其他材料成分。
2)围绕陶瓷材料的其他应用方向。目前公司的陶瓷材料主要应用于半导体方向,在新能源、泛半导体、化工环保、生物医药、汽车、功能陶瓷等方面也有布局,但体量较小,如果在这些方向有好的项目,我们也会关注。
3)围绕陶瓷材料的上游粉末方向,如有好的项目,公司准备在该方向做适当布局。
公司表示,所有潜在项目将严格遵循法律法规,及时履行信息披露义务。