山东省陶瓷协会
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江苏集萃半导体陶瓷材料研究所是泰兴高新区引进的新型研发平台,由清华大学潘伟教授团队领衔组建。平台仅用7.5亩土地,就构建起从粉体研发到精密加工的全产业链技术体系,为半导体装备打造中国自主生产的精密陶瓷部件,装上“中国心”。

在集萃半导体陶瓷材料研究所的陶瓷超精密加工室,技术人员正专注加工陶瓷静电卡盘。该产品是半导体制造设备中的关键零部件,以往长期被国外企业垄断。研究所不仅积极自主研发,还参与国家相关重大科技项目,目前已成功突破多项关键技术。